Methods and delivery systems for providing a gas phase of a multi-component liquid source for delivery to a critical process application are provided. The methods include concentration of a component of the liquid source which is less volatile than water for delivery of a gas stream comprising the less volatile component to a critical process application. Critical process applications include decontamination and microelectronic processing applications.L'invention concerne des procédés et des systèmes de distribution d'une phase gazeuse d'une source de liquide à composants multiples pour la distribution dans une application de procédé critique. Les procédés comprennent la concentration d'un composant de la source de liquide qui est moins volatil que l'eau pour la distribution d'un courant de gaz comprenant le composant moins volatil dans une application de procédé critique. Des applications de procédé critique comprennent des applications de décontamination et de traitement microélectronique.
