The present invention relates to a method for manufacturing a semiconductor device, comprising the steps of: adding 8.0% by mass or more and 20.0% by mass or less of Au and at least one of Cr and Mo as an essential additional element and containing Ta as an optional element and the remainder being Ti and inevitable impurities Superelastic alloy, and is a superelastic alloy having a Cr equivalent calculated based on the following formula with respect to the relationship between the Cr content, the Mo content, and the Ta content in a range of more than 5.0 to less than 8.0. This alloy is a Ni-free superelastic alloy and has excellent rhegogeneity. As a result, this alloy can be suitably used in the medical field.본 발명은, 필수 첨가 원소로서, 8.0질량% 이상 20.0질량% 이하의 Au와, Cr과 Mo 중 적어도 어느 하나를 포함하고, 임의의 첨가 원소로서 Ta를 포함하고, 잔부가 Ti 및 불가피 불순물로 이루어지는 초탄성 합금이며, Cr 함유량과 Mo 함유량과 Ta 함유량의 관계에 대해 다음 식에 기초하여 산출되는 Cr 당량이, 5.0 초과 8.0 미만의 범위 내에 있는 초탄성 합금이다. 이 합금은, Ni 프리의 초탄성 합금이며, 뢴트겐 조영성이 양호하다. 그로 인해, 이 합금은 의료 분야에 적합하게 사용 가능하다.