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基于低温共烧陶瓷技术的非接触无源气体传感器
- 专利权人:
- 中北大学
- 发明人:
- 谭秋林,李超,刘文怡,郭心怡,张文栋,熊继军,刘俊,薛晨阳,张洋,纪夏夏,王晓龙
- 申请号：
- CN201310585121.2
- 公开号：
- CN103675040A
- 申请日:
- 2013.11.20
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 任林芳
- 摘要：
- 本发明涉及气敏传感器领域，具体是一种基于低温共烧陶瓷技术的非接触无源气体传感器。解决了现有气体传感器工作温度高，功耗大且不能在无线无源的环境下进行食品药品的变质检测问题。所述传感器是结合低温共烧陶瓷（LTCC）技术和薄膜技术而加工得到的，结构上主要包括三层：供加热与测温于一体的铂电极层、LC导电连接层和供无线无源检测的测试电极与电感线圈层。测试电极表面附着采用独特的加工工艺制备的SWNT/ZnO气味敏感薄膜。利用LC谐振传感原理，使传感器实现了在无线无源的环境下对气体的检测。本发明结构简单、成本低，具有灵敏度高、低功耗、高温稳定性和工作温度低的显著特点，利于实现元件的集成化、小型化。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
