高可靠超小金属陶瓷表面贴器件的封装工艺
- 专利权人:
- 济南市半导体元件实验所
- 发明人:
- 赵志桓,李东华,张礼,杜磊,吕瑜
- 申请号:
- CN201510940790.6
- 公开号:
- CN105428267A
- 申请日:
- 2015.12.16
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 李桂存
- 摘要:
- 本发明公开了一种高可靠超小金属陶瓷表面贴器件的封装工艺,所述封装工艺采用了深腔金基焊片共晶焊接工艺和深腔键合工艺,使用深腔金基焊片共晶焊接工艺将芯片焊接在管壳上,焊接剪切力大、热阻小,可靠性高,降低了器件的热阻和饱和压降,提高了抗热疲劳性能,同时能够满足多种背面材料的芯片焊接工艺;采用小型化深腔键合工艺,实现键合材料的原子级接触,提高器件键合丝焊接的可靠性;本工艺易于实现自动化,提高生产效率;工作范围宽-65℃~200℃。封装的产品可广泛应用于计算机、雷达、通讯发射机、航天飞行器、仪器仪表等方面。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心