用于X射线荧光测量的方法和测量设备

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专利权人:

艾希姆因赛特有限公司

发明人:

F·格吕纳,C·赫申,F·布卢门多夫

申请号：

CN201880024677.5

公开号：

CN110869753A

申请日:

2018.06.04

申请国别(地区):

CN

年份:

2020

代理人:

摘要：

一种用于X射线荧光测量的方法,其中在待检查的物体(1)中捕捉发荧光的目标粒子的存在,存在的目标粒子在物体(1)中定位,所述方法包括以下步骤:(a)通过源装置(10)产生X射线束(2),其中X射线束(2)沿与第一投影方向平行的X射线束方向延伸穿过物体(1),(b)在第一投影平面中的多个扫描位置处用X射线束(2)辐照物体(1),其中扫描位置由扫描装置(20)设定,通过所述扫描装置,源装置和物体(1)相对于彼此移动,(c)使用牢固地连接到源装置(10)的检测器阵列装置(30)在每个扫描位置检测沿多个空间方向从物体(1)发射的X射线辐射,其中检测器阵列装置(30)包括:多个光谱选择性检测器元件(31),其布置成能检测沿多个空间方向的X射线辐射;以及多个筛片(32),其沿相对于X射线束方向的径向方向延伸,筛片屏蔽检测器元件(31)以免受物体(1)中散射的X射线辐射,筛片布置成使得检测器元件(31)能够检测来自物体(1)中X射线束体积区内的所有位置的X射线辐射,以及(d)处理检测器元件的检测器信号,以便在检测到的X射线辐射中捕捉目标粒子的X射线荧光,以及以便如果捕捉到X射线荧光则定位物体(1)中的目标粒子,其中针对多个预定扫描位置中的每一个预定扫描位置寻找显著性检测器元件的子集(31),所述显著性检测器元件的检测器信号有助于与其余检测器元件(31)相比以提高的统计显著性捕捉目标粒子的X射线荧光,并且如果在至少一个扫描位置发现显著性检测器元件(31),则捕捉到目标粒子的存在,并将该扫描位置建立为目标扫描位置,在所述目标扫描位置处目标粒子定位于第一投影平面中,或者如果没有在扫描位置发现显著性检测器元件(31),则捕捉到不存在目标粒子。还描述了一种X射线荧光测量设备。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/