基于柔性材料的电容式压力传感器及其制作方法

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专利权人:

合肥综合性国家科学中心人工智能研究院(安徽省人工智能实验室)

发明人:

李智军,赵树弥,夏海生,汤燕,钟传宇,刘洋

申请号：

CN202210289665.3

公开号：

CN114674465A

申请日:

2022.03.23

申请国别(地区):

CN

年份:

2022

代理人:

摘要：

本发明提供了一种基于柔性材料的电容式压力传感器及其制作方法，包括检查层、绝缘层、屏蔽层；检查层包括上电极层、下电极层以及介电层；介电层夹设在上电极层和下电极层之间，将上电极层和下电极层隔离开；绝缘层夹设在屏蔽层与上电极层之间，绝缘层夹设在屏蔽层与下电极层之间；屏蔽层连接地线。本发明引入柔性屏蔽层较大提高了传感器的稳定性，且传感器的柔韧性仍然得到保持。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/