Christian Buske,Artur Grishin,Alexander Knospe,Zhong He,Franz Kleibner,Fabrizio Malek,Steven Minch
申请号：
DE102015121253
公开号：
DE102015121253A1
申请日:
2015.12.07
申请国别(地区):
DE
年份:
2017
代理人:
摘要：
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines atmosphärischen Plasmastrahls zur Behandlung der Oberfläche eines Werkstücks, mit einem rohrförmigen Gehäuse (10), das eine Achse (A) aufweist, mit einer innerhalb des Gehäuses (10) angeordneten Innenelektrode (24) und mit einer einen Auslasskanal (34) und eine Düsenöffnung (18) aufweisenden Düsenanordnung (30) zum Auslassen eines im Gehäuse (10) zu erzeugenden Plasmastrahls, wobei die Richtung der Düsenöffnung (18) unter einem Winkel zur Achse (A) verläuft und wobei die Düsenanordnung (30) relativ um die Achse (A) drehbar ist. Das technische Problem, eine Plasmabeschichtung zu verbessern, wird dadurch gelöst, dass mindestens eine Einlassöffnung (40) zum Einlassen eines Precursormaterials vorgesehen ist.The invention relates to an apparatus for producing an atmospheric plasma jet for treating the surface of a workpiece, comprising a tubular housing (10) having an axis (A) with an inner electrode (24) disposed within the housing (10) and having a Exhaust passage (34) and a nozzle assembly (30) having a nozzle orifice (18) for discharging a plasma jet to be generated in the housing (10), the direction of the nozzle orifice (18) being at an angle to the axis (A), and wherein the nozzle assembly (30 ) is rotatable relative to the axis (A). The technical problem of improving a plasma coating is solved by providing at least one inlet opening (40) for introducing a precursor material.
