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VERBESSERTER ENERGIEMODULATOR
专利权人:
GSI HELMHOLTZZENTRUM FÜR SCHWERIONENFORSCHUNG GMBH
发明人:
SAITO, NAMI,BERT, CHRISTOPH,RIETZEL, EIKE
申请号:
EP12751448.7
公开号:
EP2739356A1
申请日:
2012.08.03
申请国别(地区):
EP
年份:
2014
代理人:
摘要:
Die Erfindung betrifft eine Teilchenenergieanpassvorrichtung (1) zur variablen Veränderung der Energie eines Teilchenstrahls (2, 10). Die Teilchenenergieanpassvorrichtung (1) weist eine variable Energievariationseinrichtung (8) mit einer Stellwertkorrektureinrichtung (7) zur Korrektur eines zugeführten Stellwerts (11) auf. Die Stellwertkorrektureinrichtung (7) korrigiert die zugeführten Stellwerte (11) unter Verwendung von vorab ermittelten Kalibrationsdaten (15).The invention relates to a particle energy adjustment system (1) for variably changing the energy of a particle beam (2, 10). The particle energy adjustment system (1) is provided with a variable energy variation device (8) having a control value correction unit (7) for correcting a supplied control value (11). The control value correction unit (7) corrects the supplied control values (11) using previously determined calibration data (15).La présente invention concerne un dispositif dadaptation de lénergie des particules (1) pour une modification variable dun faisceau de particules (2, 10). Le dispositif dadaptation de lénergie des particules (1) comprend un système de variation dénergie variable (8) avec un système de correction de la valeur de réglage (7) permettant de corriger une valeur de réglage (11) saisie. Le système de correction de la valeur de réglage (7) corrige les valeurs de réglage (11) saisies à laide de données détalonnage (15) préalablement déterminées.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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