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Electron beam irradiation apparatus and electron beam irradiation method
专利权人:
하마마츠 포토닉스 가부시키가이샤
发明人:
마츠무라 다츠야
申请号:
KR1020187017061
公开号:
KR1020180100115A
申请日:
2016.11.01
申请国别(地区):
KR
年份:
2018
代理人:
摘要:
The electron beam irradiating apparatus includes an electron beam generating section for generating an electron beam, a case section constituting a vacuum space for accommodating the electron beam generating section, a base end connected to the case section and communicating with the vacuum space, An electron beam guide portion provided on an end side of the electron beam guide portion and having an electron beam emerging window for emitting an electron beam; And an adjusting unit for adjusting the trajectory of the electron beam in the electron beam guide unit. The adjustment portion is disposed on the base end side of the electron beam guide portion outside the vacuum space.전자선 조사 장치는, 전자선을 발생시키는 전자선 발생부와, 전자선 발생부를 수용하는 진공 공간을 구성하는 케이스부와, 기단측이 케이스부에 접속되어 진공 공간과 연통함과 아울러, 선단측에는 용기의 입구부를 통해서 상기 용기 내에 삽입할 수 있는 장척의 통 모양 부재가 구비되며, 전자선 발생부에서 발생시킨 전자선이 내부를 통과하는 전자선 가이드부와, 전자선 가이드부의 선단측에 마련되고, 전자선을 출사하는 전자선 출사창과, 전자선 가이드부에서의 전자선의 궤도를 조정하는 조정부를 구비한다. 조정부는, 진공 공간의 외부에서 전자선 가이드부의 기단측에 배치되어 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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