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엑스레이용 그리드의 제조방법 및 상기 그리드를 이용한 엑스레이 검출시스템
专利权人:
发明人:
신종배,송광섭,허성철,김경진,길도현,강구삼,김만중
申请号:
KR1020080118928
公开号:
KR1015038060000B1
申请日:
2008.11.27
申请国别(地区):
KR
年份:
2015
代理人:
摘要:
The production method of the present invention is a grid for x-ray used for the X-ray detector of the detection system using the same gas type, and relates to the present invention is a step of forming a mask pattern on a substrate and etching the protective film by etching a portion other than the step and the etching protective film to form a hole forming step of forming a grid, X-rays transmitted through the grid holes in the film and the response comprises a Bounty, the etching may be a wet or dry etching, to form the X-ray transmission film is a polymer-based material.According to the invention, the wet or dry by using an etching technique to produce a grid of the hole shape, a very simple and can be produced easily the grid in a precise manner to conventional lead-bonding effect by cutting the resin film are sequentially compared with the method for producing a type seuteurayipeo There is.X-ray grid (Grid), polymers, gas-type detector본 발명은 가스타입의 엑스레이 검출기에 사용되는 엑스레이용 그리드의 제작방법 및 이를 이용한 검출시스템에 관한 것으로, 본 발명은 기판상에 마스크 패턴을 형성하고 에칭보호막을 형성하는 단계와 상기 에칭보호막 이외의 부분을 에칭하여 그리드 홀을 형성하는단계, 상기 그리드 홀에 X선 투과막을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특지응로 하며, 상기 에칭은 습식 또는 건식에칭을 사용할 수 있으며, X선 투과막을 폴리머계 물질로 형성할 수 있도록 한다.본 발명에 따르면, 습식 또는 건식에칭 기법을 이용하여 홀모양의 그리드를 제작할 수 있도록 하여, 종래의 납과 합성수지 필름을 순차로 절단 접합하여 스트라이퍼 타입으로 제조하는 방식에 비해 매우 간단하고 정밀한 방식으로 용이하게 그리드를 제조할 수 있는 효과가 있다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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