rotary valve having a sliding member for supplying a process gas containing water vapor in a plurality of process provides . Flow path (8 , 9, 10) with an opening and also a sliding member having a sliding surface for sliding each other comprising the (1,2 4,6 ), said flow passage by a sliding seal , while the fluid pressurization by the sliding surface (8 , 9, 10) as a rotating valve with a mechanical seal mechanism for switching , that the sliding members (1,2 4,6 ) is different from the sliding surface side , the hardness of the hydrophobic member (2 , 4) , characterized in that said rotation the valve .수증기를 함유하는 처리 가스를 복수의 처리 공정에 공급하기 위한 슬라이딩 부재를 구비하는 회전 밸브를 제공한다. 유로 (8, 9, 10) 가 개구되고 또한 서로 슬라이딩하는 슬라이딩면을 갖는 슬라이딩 부재 (1, 2 4, 6) 를 구비하고, 슬라이딩면을 여압함으로써 유체를 시일하면서 슬라이딩함으로써 상기 유로 (8, 9, 10) 를 전환하는 메커니컬 시일 기구를 구비한 회전 밸브로서, 그 슬라이딩 부재 (1, 2 4, 6) 의 슬라이딩면측이 경도가 상이한 소수성 부재 (2, 4) 로 이루어지는 것을 특징으로 하는 회전 밸브이다.
