基板处理装置
- 专利权人:
- 细美事有限公司
- 发明人:
- 李相臻,崔知焄,金斗镇
- 申请号：
- CN201510167331.9
- 公开号：
- CN104979252B
- 申请日:
- 2015.04.10
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 曹正建`陈桂香
- 摘要：
- 本发明公开了一种基板处理装置，其包括壳体和门组件。所述壳体提供加工空间以在所述加工空间内处理基板，且所述壳体具有形成在所述壳体的侧壁的开口。所述门组件打开和关闭所述开口。所述门组件包括挡板、驱动构件和间隙保持单元。所述驱动构件将所述挡板传送至所述挡板面对着所述开口的阻挡位置和所述挡板脱离所述阻挡位置的打开位置。所述间隙保持单元保持所述挡板与所述侧壁之间的恒定间隙。根据本发明，能够防止产生颗粒并且能够提高基板处理工艺的效率。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
