一种微型高灵敏度光纤干涉式压力传感器及其制作方法
- 专利权人:
- 北京航空航天大学;北京卫星环境工程研究所
- 发明人:
- 李成,彭小斌,刘倩文,樊尚春,樊世超,冯国松
- 申请号：
- CN201610517941.1
- 公开号：
- CN106225965B
- 申请日:
- 2016.07.04
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 杨学明`顾炜
- 摘要：
- 本发明公开了一种微型高灵敏度光纤干涉式压力传感器及其制作方法。该传感器以2D敏感材料薄膜(包括石墨烯膜或二硫化钼膜)为压敏单元，利用光纤干涉方法实现压力信号检测。同时，针对温度对压力测量信号的交叉影响，引入布拉格光栅，结合传感器敏感结构设计与干涉腔封装以及温度误差校正等方法，实现压力传感器的温度误差补偿。因此，所述传感器具有制作简单、体积小、压力/温度双参数测量、灵敏度高、抗电磁干扰等优点，可用于生物医学、航空航天以及工业测控等领域微小尺寸下高灵敏度压力测量。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
