The present invention provides a semiconductor device comprising: an array substrate including a semiconductor layer having first and second surfaces facing each other, and a light receiving element formed on a first surface of the semiconductor layer； And a phosphor panel coupled to the semiconductor layer such that a third surface of the phosphor layer and a second surface of the semiconductor layer face each other, wherein the phosphor layer has third and fourth surfaces opposed to each other, And a thickness of 10 to 100 [mu] m.본 발명은 서로 대향하는 제1 및 2면을 갖는 반도체층과, 상기 반도체층의 제1면에 형성된 수광소자를 포함하는 어레이기판과； 서로 대향하는 제3 및 4면을 갖는 형광체층을 포함하며, 상기 형광체층의 제3면과 상기 반도체층의 제2면이 마주보도록 상기 반도체층과 결합하는 형광체패널을 포함하고, 상기 반도체층의 두께는 10~100um인 디텍터 제조방법을 제공한다.
