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アルキレングリコールモノアルキルエーテルの分離回収方法、レジスト組成物処理廃液の再利用方法及びレジスト組成物処理液のリサイクル方法
- 专利权人:
- 昭和電工株式会社
- 发明人:
- 三河 泰広,緒方 不二麿
- 申请号：
- JP20160538245
- 公开号：
- JPWO2016017387(A1)
- 申请日:
- 2015.07.08
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- アルキレングリコールモノアルキルエーテルとその対応するカルボン酸エステルを含有し、かつその他の溶剤を含む溶剤混合物から、アルキレングリコールモノアルキルエーテルを高純度かつ高収率で分離回収する方法を提供する。アルキレングリコールモノアルキルエーテル（第一の溶剤）と、アルキレングリコールモノアルキルエーテル（第一の溶剤）に対応するアルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボン酸エステル（第二の溶剤）と、アルキレングリコールモノアルキルエーテル（第一の溶剤）及びアルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボン酸エステル（第二の溶剤）とは異なる溶剤（第三の溶剤）とを含む溶剤混合物にアルカリ化合物を添加することによりアルキレングリコールモノアルキルエーテルカルボン酸エステル（第二
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
