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多波長光電測定装置、共焦点測定装置、干渉測定装置及びカラー測定装置
- 专利权人:
- 株式会社キーエンス
- 发明人:
- 久我 翔馬
- 申请号：
- JP20160529587
- 公开号：
- JPWO2015199054(A1)
- 申请日:
- 2015.06.23
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】白色等の多波長の光を用いて測定対象物の厚み、距離、変位、色等の特徴量を高い精度で測定することが可能な多波長光電測定装置、共焦点測定装置、干渉測定装置及びカラー測定装置を提供する。【解決手段】レーザ光源と、レーザ光源からの光を集光するための光源光学部材と、光源光学部材により集光された光により励起される蛍光体と、一端に蛍光体を備え、該一端側から蛍光体が発光する光を受け付け、他端側に受け付けた光を伝搬する、一又は複数の光ファイバからなる光ファイバ部と、該光ファイバ部の他端から出射される光を測定対象物に向けて集光するヘッド光学部材と、測定対象物からの光を波長に応じて選択的に受光し、受光量に対応した信号に光電変換する受光素子と、該受光素子からの波長に応じた受光量を示す信号に基
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
