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电容式换能器和样本信息获取装置
专利权人:
佳能株式会社
发明人:
香取笃史
申请号:
CN201510786812.8
公开号:
CN105635922B
申请日:
2015.17.11
申请国别(地区):
CN
年份:
2019
代理人:
摘要:
一种电容式换能器和样本信息获取装置。该电容式换能器包括至少一个单元,该单元包括第一电极和振动膜,振动膜包括第二电极,第二电极被设置为在第一电极和第二电极之间夹有腔体的情况下与第一电极分隔开。静电屏蔽经由硅橡胶层设置在单元上。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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