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Apparatus for measuring photoacoustic wave
专利权人:
株式会社アドバンテスト
发明人:
桜井 孝夫,増田 伸,城市 知輝,藤野 昌男
申请号:
JP2019239391
公开号:
JP2020163107A
申请日:
2019.12.27
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
Problem to be solved: to provide a method of measuring a photoacoustic wave by irradiating a pulse light of a certain wavelength immediately after irradiation of a pulse light of a certain wavelength.The optical acoustic wave measuring apparatus 100 was generated in the object of measurement by the ultrasonic pulse output part 2 for outputting the ultrasonic pulse Pu, the laser light output device 1 for outputting the laser light PL, and the reflected wave us and the laser beam reflected by the ultrasonic pulse in the object 200 to be measured A measuring section 4 for measuring an object of measurement based on the photoacoustic wave aw is provided.A laser light output apparatus generates an excitation laser for outputting a laser beam of a predetermined wavelength as a first pulse of a predetermined frequency, an acousto optic modulator which receives and outputs an optical path to one of a plurality of optical paths for each of the first pulses, and each of the plurality of optical paths A wavelength changing section is provided which receives the progressive light and changes them to different wavelengths.Selection diagram【課題】測定対象に、ある波長のパルス光を照射してから、すぐに別の波長のパルス光を照射することで光音響波測定を行う方法を提供する。【解決手段】光音響波測定装置100が、超音波パルスPUを出力する超音波パルス出力部2と、レーザ光PLを出力するレーザ光出力装置1と、超音波パルスが測定対象200において反射された反射波USおよびレーザ光により測定対象において発生した光音響波AWに基づき測定対象を測定する測定部4とを備える。レーザ光出力装置が、所定の波長のレーザ光を、所定の周波数の第一パルスとして出力する励起レーザと、第一パルスを受け、第一パルスの一つずつについて複数の光路のいずれか一つに光路を決定して出力する音響光学変調器と、複数の光路の各々を進行した進行光を受け、それぞれ異なった波長に変化させて出力する波長変化部を備える。【選択図】図14
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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