PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an ISS-type radiation image detection device capable of preventing damage to a scintillator.SOLUTION: A manufacturing method of a radiation image detection device includes the steps of: depositing a scintillator 20 containing cesium iodide on a surface 21a of a photo-electric conversion panel 21 so as to have a thickness of 400 μm depositing a protective film 24 on the surface of the scintillator 20 depositing a light reflection film 25 on the surface of the protective film 24 and depositing a sealing film 26 so as to cover the scintillator 20 and light reflection film 25. The formation of the scintillator 20, protective film 24, light reflection film 25, and sealing film 26 is performed without taking out the films from a chamber of a deposition device.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】シンチレータの破損を防止することができるISS型の放射線画像検出装置の製造方法を提供する。【解決手段】光電変換パネル21の表面21aに、ヨウ化セシウムを含有するシンチレータ20を、膜厚が400μm以上となるように蒸着する。このシンチレータ20の表面に保護膜24を蒸着する。この保護膜24の表面に光反射膜25を蒸着する。シンチレータ20及び光反射膜25を覆うように、封止膜26を蒸着する。シンチレータ20、保護膜24、光反射膜25、封止膜26の形成は、蒸着装置のチャンバーから取り出さずに行う。【選択図】図2
