active species (active oxygen Ya in a non-contact plasma source to the irradiated object providing an active species irradiation device capable of irradiating the active nitrogen) efficiently. Active species irradiation device 100 according to the present invention, there is provided a chamber 110 in which a plasma generating gas and the active species generating gas flow into a chamber 110 having an active species irradiation port 110c of the active species is emitted, a portion of the chamber 110 A at the downstream electrode and the upstream electrode 120 located in the upstream portion of the flow of the plasma generation gas, a portion of the chamber 110, which is located in the downstream portion of the flow of the plasma generation gas than said upstream electrode 120 An active species illumination device 100 and a 130, the chamber 110, the active species generating gas is configured to flow between said upstream electrode 120 the active species irradiation port 110c.被照射物に対して非接触なプラズマ源で活性種(活性酸素や活性窒素)を効率よく照射させることができる活性種照射装置を提供する。 本発明に係る活性種照射装置100は、プラズマ生成ガスと活性種生成ガスとが流れ込むチャンバ110であって、活性種が照射される活性種照射口110cを有するチャンバ110と、前記チャンバ110の一部分であって、前記プラズマ生成ガスの流れの上流部分に位置する上流電極120と、前記チャンバ110の一部分であって、前記上流電極120よりも前記プラズマ生成ガスの流れの下流部分に位置する下流電極130とを備えた活性種照射装置100であって、前記チャンバ110は、前記上流電極120と前記活性種照射口110cとの間に前記活性種生成ガスが流入するように構成されている。
