The present invention provides a low temperature atmospheric pressure air plasma and oxidative apply peroxide vapor with zero contaminated by chemical or biological action precision electronic equipment, communication equipment, computers and the service processing apparatus and method of the vehicle and the aircraft effective chemical agents or biological agents to process Admiral or sterilize the interior and the like. For this end, the invention receives a processing target processes for handling the chemical agent or biological agent to the contaminated surface of the object to the chamber 10 The inlet of the processing chamber 11 and the first fluid supply line so that the fluid is circulated in a closed circuit form installed between the outlet connection (L1) and the second fluid supply line (L2) Peroxide vapor feeder provided in the first fluid supply line to supply an oxidizing peroxide vapor with the circulation of air as a carrier inside the processing chamber to the first fluid through the first fluid supply line Is provided in the second fluid supply line (L2) discharged from the outlet of the plasma processing chamber to supply the air as a second fluid into the processing chamber through the rear end side feeder peroxide vapor, consisting of the peroxide vapor, water vapor, and air atmospheric pressure to a plasma a portion of the air for generating air mixture discharge plasma including the plasma activated species and low-temperature active radical air plasma reactor (70) And is characterized in that it contains.본 발명은 대기압 저온 공기 플라즈마 및 산화성 과산화물 증기를 함께 적용함으로써 화학 또는 생물학 작용제로 오염된 정밀전자장비, 통신장비, 컴퓨터 및 차량과 항공기 내부 등을 효율적으로 제독 또는 살균 처리하는 화학 작용제 또는 생물학 작용제의 처리장치 및 방법을 제공한다.이를 위해, 본 발명은 처리대상물을 수용하여 그 대상물의 표면에 오염된 화학 작용제 또는 생물학 작용제를 처리하기 위한 처리챔버(10) 상기 처리챔버의 입구(11)와 출구 사이에 유체가 순환될 수 있도록 폐회로 형태로 연결 설치된 제1 유체공급라인(L1)과 제2 유체공급라인(L2) 상기 제1유체공급라인을 통해 상기 처리챔버 내부로 제1 유체로서 산화성 과산화물 증기를 운반체인 공기와 함께 순환 공급하도록 제1유체공급라인에 설치된 과산화물증기공급기 상기 제2 유체공급라인(L2)에 설치되어 제2 유체로서 공기 플라즈마를
