PARTICLE-BEAM INSPECTION DEVICE, PARTICLE-BEAM INSPECTION CONTAINER, AND METHOD FOR PARTICLE-BEAM INSPECTION

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专利权人:

東芝エネルギーシステムズ株式会社;国立大学法人横浜国立大学;TOSHIBA ENERGY SYSTEM&SOLUTION CORP;KANAGAWA PREFECTURAL HOSPITAL ORGANIZATION;地方独立行政法人神奈川県立病院機構;YOKOHAMA NATIONAL UNIV

发明人:

TOYOHARA NAOMI,豊原 尚実,NAGAMOTO YOSHIFUMI,長本 義史,SHIMONO YOSHIAKI,下野 義章,HIRATA HIROSHI,平田 寛,SAKAKIBARA KAZUHISA,榊原 和久,GOTO HIROAKI,五東 弘昭,MINOHARA SHINICHI,蓑原 伸一

申请号：

JP2018126148

公开号：

JP2020003462A

申请日:

2018.07.02

申请国别(地区):

JP

年份:

2020

代理人:

摘要：

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique for easily and precisely inspecting the accuracy of emission of particle beams from a particle-beam irradiation device.SOLUTION: A particle-beam inspection device 10 includes: a beam output unit 21 for outputting a beam 32 in a visible light from a light source 31； a light intensity input unit 22 for inputting a light intensity signal 36 for the beam 32 from a light reception element 35 in which the beam 32 having passed through a material 17 is input； and a moving driving unit 25 for moving the light source 31 and the light reception element 35 relatively with respect to a first container 11 so that the beam 32 moves in a direction which crosses an incident region 18 of the particle beam and along the direction of the incident region 18.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2020,JPO&INPIT【課題】粒子線照射装置から照射される粒子線の照射精度を簡便にかつ高精度で検査する技術を提供する。【解決手段】粒子線検査装置１０において、光源３１から可視領域の光線３２を出力させる光線出力部２１と、物質１７を通過した光線３２を入力した受光素子３５から光線３２の光強度信号３６を入力する光強度入力部２２と、粒子線の入射領域１８に交わるようにかつこの入射領域１８の方向に沿って光線３２が移動するように第１容器１１に対して光源３１及び受光素子３５を相対的に移動させる移動駆動部２５とを備える。【選択図】図２

来源网站：

中国工程科技知识中心

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http://www.ckcest.cn/home/