This invention brings atmospheric pressure difference with internal capacity and around of the frame cleaning of the object which is prepared inside the frame sealing and/or in regard to sterilization manner, aforementioned cleaning of object and/or generates the plasma only inside of the frame for sterilization manner. In addition, this invention regards the device which makes this possible. As for device 10, using vacuum blower 2, as the vacuum chamber generated the plasma of the appropriate gas inside 1 where it can make a foolish mistake the air and frame 8, it has with the plasma source 3 which is formed, frame 8 is closed abbreviating sealing vis-a-vis around the vacuum chamber. Frame 8 may be produced, even plasticity, from the rigid material. When the frame is rigidity, when is, atmospheric pressure inside the frame than atmospheric pressure outside may be low.本発明は、密封された筐体内に用意されたオブジェクトの洗浄および/または殺菌方法に関し、筐体の内部容積と周囲との間に気圧差をもたらし、オブジェクトの前記洗浄および/または殺菌方法のための筐体内部のみにプラズマを発生させる。また、本発明は、これを可能にする装置に関する。装置10は、真空ポンプ2を使って空気が抜かれる真空チャンバ1と、筐体8内に適切なガスのプラズマを発生させるように構成されたプラズマ源3とを備え、筐体8は、真空チャンバの周囲に対して略密封して閉じられる。筐体8は、可塑性タイプでも、剛性材料から製造されてもよい。筐体が剛性のときの場合、筐体内部の気圧は、外の気圧より低くてもよい。
