全深度谱域光学相干层析成像装置及方法
- 专利权人:
- 南京理工大学
- 发明人:
- 高万荣,卞海溢,陈朝良,廖九零,朱越,刘浩
- 申请号:
- CN201510014093.8
- 公开号:
- CN104523239B
- 申请日:
- 2015.01.12
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明公开了一种全深度谱域光学相干层析成像装置及方法,该装置包括沿光路方向依次设置的光源、光纤型迈克尔逊干涉系统、光谱仪和信号处理系统。宽带光源发出的光经过2×2光纤耦合器后分别经过参考臂和样品臂后返回,经光谱仪分光后聚焦的线阵CCD上,得到干涉光谱。利用预存在电脑里的不同光程差下的干涉光谱信号对获得的样品的干涉光谱进行处理得到二维图像,相比于传统的傅里叶变换算法,该图像重构算法能够使得纵向分辨率不随深度的改变而改变。利用重构的一系列二维图像合成样品的三维结构图,实现对样品的微米级别的测量。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心