传输具有小束斑尺寸的粒子束的粒子束传输设备和方法
- 专利权人:
- 离子束应用股份有限公司
- 发明人:
- M·阿布斯,S·扎雷姆巴,W·克里文
- 申请号：
- CN200880116751.2
- 公开号：
- CN101896980B
- 申请日:
- 2008.09.26
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及一种用于传输带电粒子束的设备(10)。该设备包括：用于在靶(3)上扫描带电粒子束的装置(12)、被布置在用于扫描的装置上游的偶极磁体(15)、布置在偶极磁体与用于扫描的装置之间的至少三个四极透镜(17)和用于根据带电粒子束的扫描角来调整所述至少三个四极透镜的场强度的装置。可以使所述设备至少单消色差。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
