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顕微分光装置
- 专利权人:
- 株式会社日立ハイテクノロジーズ
- 发明人:
- 曽根原 剛志,日下 裕美,藤井 憲,山本 周平,大浦 剛,藤岡 満
- 申请号：
- JP20160506163
- 公开号：
- JPWO2015133176(A1)
- 申请日:
- 2015.01.16
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 高開口数の対物レンズを備えた顕微分光装置では、熱ドリフト等によるデフォーカスが発生するため、オートフォーカスが必要である。従来のスルーフォーカス画像取得に基づくオートフォーカスは時間がかかるため、高速サンプリングを行う長時間連続測定には適用できない。デフォーカスもしくは非点収差を有するデフォーカス検知用ビームを対物レンズに入射させる。このようなデフォーカス検知用ビームのスポットの像のぼけ方は、デフォーカスの向きによって異なるため、デフォーカスの量と向きをリアルタイムで検知することが可能となり、高速なリアルタイムオートフォーカスが可能となる。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
