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CAPTEUR DE PRESSION/FORCE MINIATURISÉ AVEC CONDUCTEURS INTÉGRÉS
专利权人:
Hutchinson Technology Incorporated
发明人:
申请号:
EP17748271.8
公开号:
EP3410929A1
申请日:
2017.02.03
申请国别(地区):
EP
年份:
2018
代理人:
摘要:
A pressure/force sensor comprises a diaphragm structure including a sensing element and a lead structure extending from the diaphragm structure and including first and second traces electrically coupled to the sensing element. The diaphragm structure and the lead structure include a circuit assembly comprising a common insulating layer and a common conductor layer on the insulating layer. The conductor layer includes at least a portion of the sensing element and at least the first trace. In embodiments the sensing element includes electrodes. In other embodiments the sensing element includes a strain gauge.La présente invention concerne un capteur de pression/force qui comprend une structure de diaphragme comprenant un élément de détection et une structure de conducteur s'étendant depuis la structure de diaphragme et comprenant des première et deuxième traces électriquement couplées à l'élément de détection. La structure de diaphragme et la structure de conducteur comprennent un ensemble de circuit comprenant une couche d'isolation commune et une couche conductrice commune sur la couche isolante. La couche conductrice comprend au moins une partie de l'élément de détection et au moins la première trace. Dans des modes de réalisation, l'élément de détection comprend des électrodes. Dans d'autres modes de réalisation, l'élément de détection comprend une jauge de contrainte.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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