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酸化インジウム−酸化錫粉末の製造方法、ＩＴＯターゲットの製造方法及び水酸化インジウム−メタ錫酸混合物の製造方法
- 专利权人:
- ＪＸ金属株式会社
- 发明人:
- 竹本 幸一,小庄 孝志,古仲 充之
- 申请号：
- JP20140557339
- 公开号：
- JPWO2014112198(A1)
- 申请日:
- 2013.11.18
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 還元炉内で、インジウム及び錫を含有するＩＴＯターゲットスクラップを還元ガスで還元し、ＩＴＯ中の金属成分の組成比を維持したまま、ＩＴＯターゲットの原料となるインジウム−錫合金を回収する方法。ＩＴＯスパッタリングターゲットの製造時又は使用後に発生する高純度酸化インジウム−錫含有スクラップからインジウム−錫合金を回収すると共に、これを酸化インジウム−酸化錫粉とし、さらにこの酸化インジウム−酸化錫粉を原料としてＩＴＯターゲットを製造する技術を提供する。すなわち、スクラップをそのまま合金に還元し、得られた合金の組成を維持したままＩＴＯ製造に使用し、これにより製造工程での組成の制御及び調整を簡素化する。また、インジウム−錫のリサイクルを酸化物の還元だけとする事で工程を簡素化し、従来法に
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
