A method of forming a master mold (52), comprising: a) forming a plurality of microstructure portions (42) in a substrate formed of a first material by a first micromachining process, each microstructure portion comprising a shaft (40) and a distal tip (38)； b) preparing a negative mold (46) of the plurality of microstructure portions, wherein the mold is formed of a second material and comprises a plurality of cavities (48) corresponding to each microstructure portion in the plurality of microstructure portions (42)； c) electroplating a metal (50) onto the negative mold to fill each cavity in the plurality of cavities and to form a base layer (54) extending from the negative mold； d) forming a proximal section (56) for each of the microstructures in the base layer using a second micromachining process (e.g. mechanical micromachining)； and e) before or after said step d), removing the negative mold from the metal to form a master mold.Un procédé de formation d'un moule maître (52), comprenant : a) la formation d'une pluralité de parties de microstructure (42) dans un substrat formé d'un premier matériau par un premier processus de micro-usinage, chaque partie de microstructure comprenant un arbre (40) et une pointe distale (38) ； b) la préparation d'un moule négatif (46) de la pluralité de parties de microstructure, le moule étant formé d'un second matériau et comprenant une pluralité de cavités (48) correspondant à chaque partie de microstructure dans la pluralité de parties de microstructure (42) ； c) l'électroplacage d'un métal (50) sur le moule négatif pour remplir chaque cavité dans la pluralité de cavités et pour former une couche de base (54) s'étendant à partir du moule négatif ； d) la formation d'une section proximale (56) pour chacune des microstructures dans la couche de base à l'aide d'un second processus de micro-usinage (par exemple, un micro-usinage mécanique) ； et e) avant ou après ladite étape d), le retrait du moule négatif du métal afin de former
