To scan a charged particle beam at high speed and improve magnetic field accuracy.SOLUTION: A scanning electromagnetic device includes a pair of X direction scanning coils 21A and 21B for deflecting a charged particle beam in an X direction orthogonal to a travelling direction (direction S) of the charged particle beam 1. The X direction scanning coils are disposed opposed to a Y direction orthogonal to a travelling direction and an X direction with an orbit position 3 of the charged particle beam interposed, and are configured by winding a litz wire 23 formed by twisting a plurality of strands which are conductors whose surface is insulated with an insulation material.SELECTED DRAWING: Figure 2【課題】荷電粒子ビームを高速でスキャンできると共に、磁場精度を向上できること。【解決手段】荷電粒子ビーム１の進行方向（Ｓ方向）に対して直交するＸ方向に荷電粒子ビームを偏向させる一対のＸ方向スキャニングコイル２１Ａ、２１Ｂを備え、Ｘ方向スキャニングコイルは、荷電粒子ビームの軌道位置３を挟んで、進行方向及びＸ方向に対し直交するＹ方向に対向して配置されると共に、絶縁材で表面が絶縁された導体である素線を複数本撚り合せて形成されるリッツ線２３が巻き回されて構成されたものである。【選択図】 図２
