A method of surface treating a fluid dispenser device, the method including a step of modifying at least one surface to be treated of at least a portion of the device by ionic implantation using multi-charged and multi-energy ion beams. The modified surface to be treated has anti-friction properties, the multi-charged ions are selected from helium (He), nitrogen (N), oxygen (O), neon (Ne), argon (Ar), krypton (Kr), and xenon (Xe), and ionic implantation is carried out to a depth of 0 mum to 3 mum.流体投与装置の表面処理方法であって、前記流体投与装置の少なくとも一部の1以上の処理対象表面を、多重荷電かつ多重エネルギのイオンビームを用いたイオン注入によって変化させる処理から成り、変化させられた後の前記処理対象表面は減摩擦特性を有し、前記多重荷電イオンは、ヘリウム(He)、窒素(N)、酸素(O)、ネオン(Ne)、アルゴン(Ar)、クリプトン(Kr)、キセノン(Xe)の中から選択され、イオン注入は0μmから3μmの深さまで実施される、という表面処理方法。【選択図】図3