Provided is a technique capable of accurately measuring the cavity height for an ultrasonic probe using CMUT and accurately grasping the maximum transmission sound pressure in the ultrasonic probe. The ultrasonic probe according to the present invention includes a plurality of cells each having a lower electrode and an upper electrode arranged with a gap with respect to the lower electrode, and the plurality of cells are hollow spaces An ultrasonic cell 121 for transmitting and receiving ultrasonic waves, and a reference cell 122 filled with a conductive material. The capacitance of the ultrasonic cell and the reference cell is measured and the parasitic capacitance included in the capacitance measured for the ultrasonic cell is corrected by using the parasitic capacitance included in the capacitance measured for the reference cell , And calculates the cavity height from the electrostatic capacitance of the corrected ultrasonic cell.ＣＭＵＴを用いた超音波探触子について、空洞高さを高い精度で測定でき、超音波探触子における最大送信音圧を正確に把握することができる技術を提供する。本発明の超音波探触子は、それぞれが、下部電極と、当該下部電極に対し間隙を持って配置された上部電極とを有する複数のセルを備え、複数のセルは、間隙が空洞であって超音波を送受信する超音波セル１２１と、間隙が導電材料で充填された参照セル１２２とを含む。超音波セルと参照セルの静電容量を測定し、超音波セルについて測定された静電容量に含まれる寄生容量を、参照セルについて測定された静電容量に含まれる寄生容量を用いて補正し、補正された超音波セルの静電容量から空洞高さを算出する。
