一种基于动态稳定扫描技术的傅里叶光谱仪
- 专利权人:
- 中山大学
- 发明人:
- 周建英,王自鑫,谢向生,易闽军
- 申请号:
- CN200610034966.2
- 公开号:
- CN100460857C
- 申请日:
- 2006.04.13
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2009
- 代理人:
- 禹小明
- 摘要:
- 本发明涉及光机电一体化方向微位移控制技术领域和光谱分析领域,目的在于克服现有技术中的缺点,提供一种可以大行程连续扫描,并且快速、稳定、高精度、高分辨率、高信噪比的傅立叶光谱仪。结构上包括:白光和激光光源;主要由麦克尔逊干涉仪构成的光学系统;用于探测微弱的光信号变化并将其转换成相应的电信号的反馈模块;用于将反馈模块处理后的模拟量转换成数字量的控制模块;用于根据控制模块处理结果控制麦克尔逊两臂的相位差调节的执行模块;和用于在相位差锁定的情况下,探测反馈模块和执行模块控制麦克尔逊干涉仪两臂相位差均匀变化的测量模块。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心
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