The present invention relates to an apparatus and method for sterilization which improves sterilization efficiency through enhancing the generation of OH radicals by using a reaction of chemicals such as hydrogen peroxide with ozone. The apparatus comprises: a means for storing a liquid disinfectant (T1) a means for supplying carrier gas which transports the disinfectant (T2) a means for generating ozone (T3) a means for mixing the generated ozone with the disinfectant (T4) a means for turning the liquid disinfectant into fine liquid droplets and spraying the same with the carrier gas (T5) and a means for generating atmospheric pressure plasma through which the sprayed fine liquid droplets and the carrier gas pass to generate gaseous ozone, and which activates the fine liquid droplets (T6). According to the present invention, the T3/T4 or T6 may be eliminated when necessary, and the finally sprayed composite disinfectant fluid comprises fine particles of the liquid disinfectant, ozone (gaseous, liquid, or a combination thereof), and the carrier gas.COPYRIGHT KIPO 2017본 발명은 과산화수소 등의 약품과 오존의 반응을 이용하여 OH 라디칼의 발생을 증진시켜 멸균의 효율을 높이는 멸균 장치 및 방법에 관한 것이다. 그 장치는 액상 소독약품의 저장 수단(T1) 상기 소독약품을 이동시키는 운반기체 공급 수단(T2) 오존을 발생시키는 수단(T3) 상기 발생된 오존을 상기 소독약품과 혼합하는 수단(T4) 상기 액상 소독약품을 액상 미립자로 만들어 상기 운반기체와 함께 분무하는 수단(T5) 상기 분사되는 액상 미립자와 운반기체가 통과하여 기상 오존을 발생시키고, 액상 미립자를 활성화하는 대기압 플라즈마 발생 수단(T6)를 포함하고, 필요에 따라 (T3/T4) 또는 T6가 생략될 수 있으며, 최종 분무되는 복합 소독유체가 액상 소독약품 미립자, 오존(기상, 액상 또는 이들의 조합) 및 운반기체를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.