PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic sensor capable of reducing the number of electrode wires pulled out from an electrode between ultrasonic transducers.SOLUTION: An ultrasonic sensor 10 includes a plurality of ultrasonic transducers 30 two-dimensionally arranged on a sensor substrate 20. The sensor substrate 20 includes regions Ar1 to Ar4 divided by an X axis L1 and a Y axis L2 crossing each other in the plan view of viewing the sensor substrate in a thickness direction. Then, inside the respective regions Ar1 to Ar4, respective lower electrode wires 334 pulled out from lower electrodes of the respective ultrasonic transducers 30 have a linear portion extending in the direction of separating from a substrate center point O at which the X axis L1 and the Y axis L2 cross each other.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】超音波トランスデューサー間に電極から引き出される電極線の本数を少なくできる超音波センサーを提供すること。【解決手段】超音波センサー10は、センサー基板20上に、二次元配置された複数の超音波トランスデューサー30を備える。センサー基板20は、当該センサー基板を厚み方向に沿って見た平面視において、互いに交差するX軸L1及びY軸L2により分割される領域Ar1~Ar4を備える。そして、各領域Ar1~Ar4内において、各超音波トランスデューサー30の下部電極から引き出される各下部電極線334は、X軸L1及びY軸L2の互いに交差する基板中心点Oから離れる方向に延びている直線部分を有する。【選択図】図1
