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非接触式ウェハチャッキングのためのシステム及び方法
- 专利权人:
- ケーエルエー−テンカー コーポレイション
- 发明人:
- フアン ルーピン
- 申请号：
- JP20160542706
- 公开号：
- JP2017504199(A)
- 申请日:
- 2014.12.19
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 非接触式ウェハチャッキング装置が、ウェハチャック、及び、前記ウェハチャックの一部に連結されたグリッパ組立体を含む。前記ウェハチャックは、ウェハを前記ウェハチャックの面より上に持ち上げるのに適した加圧ガス領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するように構成された加圧ガス要素を含む。前記ウェハチャックは、さらに、前記加圧ガス領域よりも低い圧力を有する減圧領域を前記ウェハチャックの前記面にわたって生成するように構成された真空要素を含む。前記減圧領域は、前記ウェハを、前記ウェハチャックより上に、前記ウェハチャックに接触させずに保持するのに適している。前記チャッキング装置は、前記ウェハチャックを選択的に回転させるように構成された回転駆動ユニットを含む。グリッパ要素は、前記ウェ
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
