您的位置: 首页 > 农业专利 > 详情页

ULTRASONIC TRANSDUCER DEVICE, ULTRASONIC PROBE, AND ULTRASONIC MEASURING APPARATUS
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
MATSUDA YOJI,松田 洋史
申请号:
JP2016097690
公开号:
JP2017208596A
申请日:
2016.05.16
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic measuring apparatus which does not need to install a position of a light detecting unit with respect to a vibrating film with high positional accuracy in a plan view of a substrate.SOLUTION: An ultrasonic transducer device 1 includes: a substrate 2 having an opening portion 3; a vibration film 5 installed on the substrate 2; a piezoelectric element 9 being installed on the vibration film 5 and vibrating the vibration film 5; and a light detection unit 14 for detecting vibration of the vibration film 5 by using reflected light 15b. The light detection unit 14 is positioned at a side opposite to the substrate 2 with respect to the vibration film 5.SELECTED DRAWING: Figure 1【課題】基板の平面視において振動膜に対する光検出部の位置を位置精度良く設置しなくても良い超音波測定装置を提供する。【解決手段】超音波トランスデューサーデバイス1は開口部3を有する基板2と、基板2上に設置された振動膜5と、振動膜5上に設置され振動膜5を振動させる圧電素子9と、反射光15bを用いて振動膜5の振動を検出する光検出部14と、を備え、光検出部14は、振動膜5に対して基板2の反対側に位置する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

意 见 箱

匿名:登录

个人用户登录

找回密码

第三方账号登录

忘记密码

个人用户注册

必须为有效邮箱
6~16位数字与字母组合
6~16位数字与字母组合
请输入正确的手机号码

信息补充