PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce positional deviations of moving images captured with a tracking function enabled and distortions in frame surfaces of such moving images.SOLUTION: Provided is an examination apparatus, comprising: image acquisition means for acquiring an image, based on return light from an object to be examined scanned with illumination light detection means for detecting a positional deviation of the object to be examined when acquiring one frame of image of the object to be examined tracking means for tracking the scanning position of the illumination light to correct the detected positional deviation image splitting means for splitting the one frame of image into plural split images according to the time the positional deviation was detected and image generation means for aligning each of the plural split images to generate a new image.SELECTED DRAWING: Figure 5COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】追尾機能を動作させて撮像された動画像の位置ずれやフレーム面内の歪みを低減する。【解決手段】検査装置において、照明光により走査した被検査物からの戻り光に基づいて画像を取得する画像取得手段と、被検査物の一枚の画像を取得する際に、被検査物の位置ずれを検出する検出手段と、検出された位置ずれを補正するように照明光の走査位置を追尾させる追尾手段と、位置ずれを検出した時刻に応じて一枚の画像を複数の分割画像に分割する画像分割手段と、複数の分割画像各々について位置合わせして新たな画像を生成する画像生成手段と、を配する。【選択図】図5
