The purpose is to provide an apparatus that, when performing sterilization using plasma, performs sterilization very efficiently by measuring a specific light emission spectrum and assessing microbe activity/inactivity in real time. The solution is to apply plasma to an object to be treated from a plasma source connected to an AC power supply and detect light emission from the object being treated that arises from the plasma application with an emission intensity-detecting unit. By detecting the wavelength intensity of hydrogen or hydroxyl groups in particular, microbe activity/inactivity can be assessed at an early stage. Consequently, output of the power supply can be controlled as appropriate for the sterilization.Linvention concerne un dispositif qui mesure un spectre de luminescence spécifique lors dune stérilisation à laide dun plasma, jugeant ainsi en temps réel de lactivité ou de la non-activité de bactéries, et assurant une stérilisation à haut rendement. Dans cet objectif, un objet à traiter est exposé au plasma provenant dune source de plasma connectée à une alimentation électrique en courant alternatif, et la luminescence de lobjet à traiter provoquée par son exposition au plasma est détectée par une unité de détection dintensité de luminescence. Plus particulièrement, par détection de lintensité de longueur donde dun hydrogène ou dun groupe hydroxyle, il est possible de juger précocement de lactivité ou de la non activité de bactéries. Par conséquent, il est possible de commander la sortie dune alimentation électrique appropriée à la stérilisation.プラズマを用いて滅菌を行なう際、特定の発光スペクトルを計測することで、菌の活性/不活性をリアルタイムに判定し、高効率に滅菌する装置を提供する。解決手段として、交流電源に接続されたプラズマ源から、処理対象物にプラズマを当て、プラズマを当てられたことに起因する処理対象物の発光を発光強度検出部で検出する。特に、水素又は水酸基の波長強度を検出することで、菌の活性/不活性を早期に判定できる。したがって滅菌のための適切な電源の出力を制御することができる。
