成像装置
- 专利权人:
- 佳能株式会社
- 发明人:
- 福原诚,户松宣博,住谷利治,佐藤真
- 申请号：
- CN201510340405.4
- 公开号：
- CN105193378A
- 申请日:
- 2015.06.18
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及成像装置。提供一种被配置为成像要被检查的对象的成像装置，该装置包括：被配置为将通过组合返回光和基准光获得的光分离成具有不同的偏振分量的多个光的分离单元；和被配置为检测多个光的检测单元。该装置还包括：被配置为校正由设置在测量光的光路或基准光的光路上的光学部件产生的不同的偏振分量之间的相位差的校正单元。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
