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METHOD AND DEVICE FOR COLLIMATING AN ENERGY INPUT BEAM
专利权人:
发明人:
회쇤, 크리스토프,티센코, 올레그,슈, 얀
申请号:
KR1020077012412
公开号:
KR1011819390000B1
申请日:
2005.12.21
申请国别(地区):
KR
年份:
2012
代理人:
摘要:
at least one energy input beam source (210) with at least one energy input beam (3) to produce at least one energy input beam comprising the steps of: (3) a plurality of individual energy input beam components (3.1, 3.2, 3.3, ...) characterized in that it comprises the steps of And along a plurality of projection directions by at least one energy input beam (3) test areas (2) inspection area (2) of a step of spinning the object, and in particular (1) to radiation (irradiation) method for imaging In the energy input beam components (3.1, 3.2, 3.3, ...) is characterized in that it is formed of the input energy with a through-hole 213 of the light-shielding mask at least one consisting of (shielding material) (211) relates to a method for spinning. Also describes a method and apparatus for imaging a target or imaging radiation.적어도 하나의 에너지 투입 광선원(210)으로 적어도 하나의 에너지 투입 광선(3)을 생산하는 단계로서 적어도 하나의 에너지 투입 광선(3)은 복수의 개별적 에너지 투입 광선 구성요소(3.1, 3.2, 3.3,...)를 포함하는 것을 특징으로 하는 단계 및 복수의 투사 방향을 따라 적어도 하나의 에너지 투입 광선(3)으로 검사 영역(2)을 방사하는 단계를 포함하고 특히 대상(1)의 검사 영역(2)을 영상화하기 위한 방사(irradiation) 방법에 있어서, 상기 에너지 투입 광선 구성요소(3.1, 3.2, 3.3,...)은 관통홀(213)을 가진 에너지 투입 차폐재(shielding material)로 이루어진 적어도 하나의 광선 마스크(211)로 형성되는 것을 특징으로 하는 방사 방법에 관한 것이다. 또한 대상을 방사하거나 영상화하기 위한 영상화 방법 및 장치에 대해 설명한다.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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