PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an improved method for producing an aperture plate for a nebulizer.SOLUTION: In a method of manufacturing an aperture plate wafer, a photo-resist (21) is applied in a pattern of vertical columns having the dimensions of holes or pores of aperture plate to be manufactured. The mask pattern provides the apertures which define the aerosol particle size, having up to 2500 holes per one mm. There is electro-deposition of metal (22) in spaces around the columns (21). There is further application of a second photo-resist mask (25) of much larger (wider and taller) columns, including the area of first columns (21). The hole diameter in the second plating layer is chosen according to a desired flow rate.SELECTED DRAWING: Figure 6【課題】ネブライザのための開口板を製造する改良された方法を提供する。【解決手段】製造される開口板の孔または細孔の寸法を有する垂直カラムのパターンに、フォトレジスト（２１）が付着され、マスクパターンは、エアロゾル粒径を画定する開口をもたらし、１ｍｍ２当たり最大２５００個の孔を有する。カラム（２１）の周りの空間に金属（２２）が電着し、第１のカラム（２１）の領域を含む、はるかに大きい（幅および高さが大きい）カラムの第２のフォトレジストマスク（２５）がさらに付着される。第２のめっき層の孔の直径は、所望の流量に従って選択される開口板ウェーハを製造する方法。【選択図】図６
