Disclosed herein is an X-ray source, comprising: a cathode in a recess of a first substrate； a counter electrode on a sidewall of the recess, configured to cause field emission of electrons from the cathode； and a metal anode configured to receive the electrons emitted from the cathode and to emit X-ray from impact by the electrons on the metal anode.La présente invention concerne une source de rayons X (201 1201,1301, 1401, 1501, 1601, 1701), comprenant : une cathode (212) dans un évidement (215) d'un premier substrat (210) ； une contre-électrode (220) sur une paroi latérale de l'évidement (215), configurée pour provoquer une émission de champ d'électrons à partir de la cathode (212) ； et une anode métallique (240) configurée pour recevoir les électrons émis par la cathode (212) et pour émettre un rayon X à partir d'un impact par les électrons sur l'anode métallique (240).
