PARTLO, William, N.,SANDSTROM, Richard, L.,BROWN, Daniel, J.w.,FOMENKOV, Igor, V.
申请号：
USUS2011/050565
公开号：
WO2012/050685A1
申请日:
2011.09.06
申请国别(地区):
US
年份:
2012
代理人:
摘要：
A device is disclosed, herein which may comprise a droplet generator producing droplets of target material； a sensor providing an. intercept time signal when a droplet reaches a preselected location； a delay circuit coupled with said sensor, the delay circuit generating a trigger signal delayed from the. intercept time signal； a. laser source responsive to a trigger signal to produce a laser pulse-； and a system controlling said delay circuit to provide a. trigger signal delayed from the intercept time by a first delay time to generate a light pulse that is focused on a droplet and a trigger signal delayed from the intercept time by a second delay time to generate a light -pulse which is not focused on a droplet.L'invention concerne un dispositif auquel peuvent être intégrés les éléments suivants : un générateur de gouttelettes conçu pour produire des gouttelettes de matériau cible ； un capteur qui produit un signal temporel d'interception lorsqu'une gouttelette atteint un emplacement présélectionné ； un circuit de temporisation qui est couplé audit capteur, ce circuit de temporisation générant un signal de déclenchement en décalage par rapport au signal temporel d'interception ； et une source laser qui réagit à un signal de déclenchement pour produire une impulsion laser. L'invention décrit aussi un système destiné à commander ledit circuit de temporisation afin de produire un signal de déclenchement en décalage par rapport au moment de l'interception, selon un premier intervalle temporel, pour générer une impulsion de lumière laquelle est focalisée sur une gouttelette, et un signal de déclenchement en décalage par rapport au moment de l'interception, selon un deuxième intervalle temporel, pour générer une impulsion de lumière qui n'est pas focalisée sur une gouttelette.
