The device which calibrates the laser beam system includes the calibration component which possesses the surface which from based datum of unit is arranged in the place of specified position. This system furthermore makes the beam the focus focus, includes the mechanism which makes the focus move vis-a-vis the surface of the calibration component. When the focus arrives on the surface of the calibration component, laser being induced optical destruction (LIOB) is induced. In order to calibrate the laser beam, after that, it is possible to measure the position of LIOB for based datum. Furthermore, in order to calibrate the inclination of the beam/eccentricity, and it decides the energy density of the focus of the laser beam, in order to decide the uniformity of energy density, using LIOB, it is possible to apply pattern to the calibration component.レーザ・ビーム・システムを較正する装置は、ユニットのベース・データムから所定の位置のところに配置された表面を有する較正部材を含む。このシステムはさらに、ビームを焦点に集束させ、較正部材の表面に対して焦点を移動させる機構を含む。焦点が較正部材の表面に到達すると、レーザ誘起光学破壊(LIOB)が誘起される。レーザ・ビームを較正するため、その後に、ベース・データムに対するLIOBの位置を測定することができる。さらに、ビームの傾斜/偏心を較正するため、及びレーザ・ビームの焦点のエネルギー密度を決定し、エネルギー密度の均一性を判定するために、LIOBを使用して較正部材にパターンを適用することができる。
