PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a high-sensitivity and easy-to-produce ultrasonic element.SOLUTION: This ultrasonic element 20 includes: a plurality of transmitting first ultrasonic cells 10A in each of which a first lower electrode and a first upper electrode are oppositely disposed through a first lower dielectric layer, a first cavity and a first upper dielectric layer and a plurality of receiving second ultrasonic cells 10B in each of which a second lower electrode 12A and a second upper electrode 16A are oppositely disposed through a second lower dielectric layer 13, a second cavity 14 and a second upper dielectric layer 15. The reception sensitivity of the second ultrasonic cell 10B is higher than the reception sensitivity of the first ultrasonic cell 10A.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】感度が高く製造が容易な超音波エレメントを提供する。【解決手段】超音波エレメント20は、第1の下部電極と第1の上部電極とが、第1の下部誘電体層、第1のキャビティおよび第1の上部誘電体層を介して対向配置している複数の送信用の第1の超音波セル10Aと、第2の下部電極12Aと第2の上部電極16Aとが、第2の下部誘電体層13、第2のキャビティ14および第2の上部誘電体層15を介して対向配置している複数の受信用の第2の超音波セル10Bと、を具備し、前記第2の超音波セル10Bの受信感度が、前記第1の超音波セル10Aの受信感度よりも高い。【選択図】図5
