Ion cluster generating device of the present invention using the plate-like dielectric as the discharge element, and the inner electrode of the plate-like dielectric in a linear pattern, the change of the ion cluster generation amount according to the output voltage of the electric circuit for the plasma discharge (the output voltage sensitivity ) was decreased, in a manner to bias towards the non-central location of the internal electrodes in the thickness direction of the dielectric, since the discharge start voltage is so lowered, it is possible to lower the output voltage of the electric circuit, as well as reduction in the output voltage sensitivity, It can reduce the burden of the electric circuit, and has the effect of reducing the generation of by-products of the plasma discharge, such as ozone.본 발명의 이온클러스터 발생장치는 방전소자로서 플레이트형 유전체를 사용하고, 플레이트형 유전체의 내부전극을 선형 패턴으로 하여, 플라즈마 방전을 위한 전기회로부의 출력전압에 따른 이온클러스터 발생량의 변화(출력전압 민감도)를 감소시키고, 내부전극의 위치를 유전체의 두께방향으로 중앙이 아닌 한 쪽으로 치우치게 하여, 방전개시전압이 낮추어지도록 함으로써, 전기회로부의 출력전압을 낮출 수 있어, 출력전압 민감도의 감소뿐 만 아니라, 전기회로부의 부담을 덜 수 있고, 또한 오존과 같은 플라즈마 방전에 따른 부산물의 발생을 줄일 수 있는 효과를 가진다.
