粒子束生成设备
- 专利权人:
- GSI亥姆霍兹重离子研究中心有限责任公司
- 发明人:
- G.克拉夫特,斋藤奈美,D.沙德特
- 申请号：
- CN201180031142.9
- 公开号：
- CN102971802A
- 申请日:
- 2011.05.26
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及粒子束生成设备（1），包括用于生成两条粒子束（12，13）的加速器单元（3，8，10）以及用于输出这两条粒子束（12，13）到工件（15）上的发射单元（20）。两条粒子束（12，13）是不同类型。本发明还涉及用于控制粒子束生成设备的方法。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
