Hochschule für angewandte Wissenschaft und Kunst Hildesheim/Holzminden/Göttingen
发明人:
Wolfgang Viöl,Stephan Wieneke,Lars ten Bosch,Robert Köhler
申请号：
DE102015112200
公开号：
DE102015112200A1
申请日:
2015.07.27
申请国别(地区):
DE
年份:
2017
代理人:
摘要：
Eine Elektrodenanordnung (18) für eine Oberflächenbehandlung eines Körpers (11) mit einem physikalischen Plasma weist einen Hochspannungsanschluss (19) zum Anschließen an einen Ausgang (6) einer Wechselhochspannungsquelle (7), mehrere an den Hochspannungsanschluss (19) angeschlossene linienförmige Elektrodenkörper (2), die mit einem Dielektrikum (4) ummantelt und/oder einzeln kapazitiv an den Hochspannungsanschluss (19) gekoppelt sind, und einen an die Elektrodenkörper (2) angrenzenden Behandlungsraum (9) auf, in den der Körper (11) für die Plasmabehandlung einzubringen ist. Die Elektrodenkörper (2) umfassen jeweils einen bogenförmigen Bereich (10), in dem der jeweilige linienförmige Elektrodenkörper (2) seine Richtung um mindestens 90° ändert, wobei sich der Behandlungsraum (9) zumindest teilweise zwischen den bogenförmigen Bereichen (10) der Elektrodenkörper (2) befindet.An electrode arrangement (18) for a surface treatment of a body (11) with a physical plasma has a high voltage terminal (19) for connection to an output (6) of a high voltage alternating voltage source (7), a plurality of linear electrode bodies (2) connected to the high voltage terminal (19) , which are encased with a dielectric (4) and / or individually capacitively coupled to the high voltage terminal (19), and to the electrode body (2) adjacent treatment chamber (9), in which the body (11) is to be introduced for the plasma treatment , The electrode bodies (2) each comprise an arcuate region (10) in which the respective linear electrode body (2) changes its direction by at least 90 °, the treatment chamber (9) at least partially being located between the arcuate regions (10) of the electrode bodies (FIG. 2) is located.
