Stefan Nettesheim,Klaus Forster,Nettesheim, Stefan,Forster, Klaus
申请号：
DE102019107321
公开号：
DE102019107321A1
申请日:
2019.03.21
申请国别(地区):
DE
年份:
2020
代理人:
摘要：
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines Plasmas, aufweisend eine Hochspannungsversorgung (9) und einen mit der Hochspannungsversorgung (9) verbundenen Körper (1), der Borsten (2a, 2b) aufweist, wobei die Vorrichtung dazu ausgestaltet ist, an den Borsten (2a, 2b) ein Plasma zu zünden, wobei zumindest einige der Borsten (2a) ein leitfähiges Material (3) aufweisen, das an einer Oberfläche der Borsten (2a) freiliegt, und/oder wobei zumindest einige der Borsten (2b) leitfähiges Material (3) aufweisen, das von einem dielektrischen Material (6) ummantelt ist. Gemäß einem weiteren Aspekt betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Plasmabehandlung einer Oberfläche mit einer derartigen Vorrichtung.The present invention relates to a device for generating a plasma, comprising a high-voltage supply (9) and a body (1) connected to the high-voltage supply (9) and having bristles (2a, 2b), the device being designed to be attached to the bristles (2a, 2b) to ignite a plasma, wherein at least some of the bristles (2a) have a conductive material (3) which is exposed on a surface of the bristles (2a), and / or wherein at least some of the bristles (2b) have conductive material (3) which is sheathed by a dielectric material (6). According to a further aspect, the invention relates to a method for plasma treatment of a surface with such a device.
